Antriebsvorrichtung für einen Substrattransferroboter mit Kühlmittelzirkulationsdurchgang

EP1981078 Art B1 16. November 2011

Anmelder: Nabtesco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1981078
Aktenzeichen: EP07706698
Anmeldetag: 12. Januar 2007
Veröffentlichung: 16. November 2011
Erteilung: 16. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677B25J9/10B65G49/06B25J19/00B65G49/07F16J15/16F16J15/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nabtesco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nabtesco

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, tätig in Präzisionsgetrieben, Antriebstechnik für Robotik und Industrieanlagen sowie Steuerungssystemen für Flugzeuge und Schienenfahrzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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