Verfahren zur Herstellung eines SOI-Substrats

EP1981083 Art A3 14. Oktober 2009

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1981083
Aktenzeichen
EP08005514
Anmeldetag
25. März 2008
Veröffentlichung
14. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/12H01L21/762H01L21/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Company, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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