Laserbearbeitungsgerät und Verfahren mit einem Saugglockensystem und mindestens einem Eingrenzungsbereich zur Eingrenzung der Ablagerung von Emittierten Gefahrstoffen
EP1981679
Art B1
9. September 2009
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc., Xsil Technology Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1981679
- Aktenzeichen
- EP07703203
- Anmeldetag
- 1. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 9. September 2009
- Erteilung
- 9. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/12B23K26/14B23K26/16B23K26/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Electro Scientific Industries, Inc.
Xsil Technology Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Want, Clifford James
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