Verfahren zur Herstellung eines pyrolytischen Boronnitrid-Verbundstoffsubstrats

EP1983071 Art B1 16. März 2011

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shinetsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1983071
Aktenzeichen
EP08006094
Anmeldetag
28. März 2008
Veröffentlichung
16. März 2011
Erteilung
16. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/06H01L21/762H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Shinetsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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