Katadioptrisches Bildgebungssystem, Belichtungseinrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP1983362 Art A1 22. Oktober 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1983362
Aktenzeichen: EP07713756
Anmeldetag: 31. Januar 2007
Veröffentlichung: 22. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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