Inspektionssystem für Halbleiter
EP1983551
Art B1
20. Oktober 2010
Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1983551
- Aktenzeichen
- EP08012854
- Anmeldetag
- 20. August 2001
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2010
- Erteilung
- 20. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi, Ltd.
Hitachi Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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