Antriebsverfahren eines Beweglichen Körpers, Antriebssystem eines Beweglichen Körpers, Strukturerzeugungsverfahren, Strukturbildungsvorrichtung, Belichtungsverfahren, Belichtungsvorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP1983555 Art B1 28. Mai 2014

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1983555
Aktenzeichen: EP07707109
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 28. Mai 2014
Erteilung: 28. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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