Optischer Integrator für eine Beleuchtungssystem einer Mikrolithographie-Projektions-Belichtungsvorrichtung
EP1984788
Art B1
21. September 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1984788
- Aktenzeichen
- EP07703501
- Anmeldetag
- 16. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 21. September 2011
- Erteilung
- 21. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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Fachgebiete
7
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