Vertikales Wärmebearbeitungssystem
EP1986216
Art B1
26. Oktober 2011
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1986216
- Aktenzeichen
- EP08161737
- Anmeldetag
- 23. August 2001
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2011
- Erteilung
- 26. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bras, Pieter
Den Haag, Niederlande
44
Patente gesamt
20
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte