Soi-Substrat und Verfahren zur Herstellung eines Soi-Substrats

EP1986219 Art A1 29. Oktober 2008

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1986219
Aktenzeichen
EP07708229
Anmeldetag
8. Februar 2007
Veröffentlichung
29. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/336H01L27/12H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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