Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung

EP1986227 Art A1 29. Oktober 2008

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1986227
Aktenzeichen: EP07714277
Anmeldetag: 15. Februar 2007
Veröffentlichung: 29. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/3065H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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