Leuchtbauelement, Verfahren zur Herstellung eines Leuchtbauelements und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP1986471 Art A1 29. Oktober 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited, National University Corporation Tohoku Unversity 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1986471
Aktenzeichen: EP07714103
Anmeldetag: 13. Februar 2007
Veröffentlichung: 29. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H05B33/10H01L51/50H05B33/26H01L51/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
National University Corporation Tohoku Unversity
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von