Verfahren zum Ausrichten eines Optischen Systems
EP1987390
Art A1
5. November 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1987390
- Aktenzeichen
- EP06743035
- Anmeldetag
- 23. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 5. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/62G01M11/02G03F7/20G02B5/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
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