Verfahren zur Entfernung des M-förmigen Ätzgeschwindigkeitsprofil in einem induktiv gekoppelten Plasmareaktor
EP1988565
Art A3
11. August 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1988565
- Aktenzeichen
- EP08154807
- Anmeldetag
- 18. April 2008
- Veröffentlichung
- 11. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peterreins, Frank
München, Deutschland
2.106
Patente gesamt
34
Fachgebiete
30
Anmelder-Länder
Schwerpunkte