Planar-Heizvorrichtung

EP1988750 Art A1 5. November 2008

Anmelder: Covalent Materials Corporation, Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1988750
Aktenzeichen: EP07708125
Anmeldetag: 7. Februar 2007
Veröffentlichung: 5. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/86H05B3/14H05B3/74H05B3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Covalent Materials Corporation
Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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