Integrierte Kapazitive und Induktive Stromquellen für eine Plasmaätzkammer
EP1989007
Art A2
12. November 2008
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1989007
- Aktenzeichen
- EP07751017
- Anmeldetag
- 16. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 12. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Derry, Paul Stefan
Venner Shipley LLP · London