Ätzlösung und Verfahren zur Strukturierung eines Ubm-Schichtsystems

EP1989343 Art A2 12. November 2008

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1989343
Aktenzeichen: EP07703498
Anmeldetag: 16. Februar 2007
Veröffentlichung: 12. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/02C23F1/16C23F1/18C23F1/44H01L21/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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