Versiegelte Si-Elektroden mit Elastomerbindung und Dergleichen für Verminderte Partikelkontamination bei der Dielektrischen Ätzung
EP1989727
Art B1
28. Dezember 2016
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1989727
- Aktenzeichen
- EP07749916
- Anmeldetag
- 5. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2016
- Erteilung
- 28. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/461H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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Weitere Vertreter
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Gritschneder, Martin
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