System und Verfahren für Gesteuerte Flüssigkeitsmischung und Multiplexen von Sollwerten

EP1991347 Art A2 19. November 2008

Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1991347
Aktenzeichen
EP07752100
Anmeldetag
28. Februar 2007
Veröffentlichung
19. November 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B01F15/04H04B7/212G05B11/01G05D11/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Meier, Christof Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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