Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Verarbeitung von auf einem Substrat Gebildeten Strukturen

EP1992013 Art A2 19. November 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1992013
Aktenzeichen: EP07757396
Anmeldetag: 23. Februar 2007
Veröffentlichung: 19. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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