Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP1993126 Art B1 21. September 2011

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1993126
Aktenzeichen
EP08005222
Anmeldetag
19. März 2008
Veröffentlichung
21. September 2011
Erteilung
21. September 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L27/12H01L29/786H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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