Vorrichtung zur Behandlung eines Gasstroms

EP1994199 Art A1 26. November 2008

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1994199
Aktenzeichen
EP07733539
Anmeldetag
22. Februar 2007
Veröffentlichung
26. November 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/20C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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