Einrichtung zur Fluidbehandlung von Plattenartigen Artikeln
EP1994548
Art A1
26. November 2008
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1994548
- Aktenzeichen
- EP07704410
- Anmeldetag
- 7. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 26. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
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16
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3
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