Aktive Spektralsteuerung einer Duv-Lichtquelle

EP1994549 Art B1 7. Dezember 2016

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1994549
Aktenzeichen: EP07716893
Anmeldetag: 22. Januar 2007
Veröffentlichung: 7. Dezember 2016
Erteilung: 7. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/13G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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