Filmerzeugungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Leuchtelements

EP1995996 Art A1 26. November 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1995996
Aktenzeichen: EP07714588
Anmeldetag: 20. Februar 2007
Veröffentlichung: 26. November 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H05B33/10C23C14/06H01L51/50C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von