Molekulare Pumpe und Flansch

EP1998048 Art B1 31. August 2016

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1998048
Aktenzeichen
EP07738622
Anmeldetag
15. März 2007
Veröffentlichung
31. August 2016
Erteilung
31. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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