System zum Bilden eines Halbleiterdünnfilms

EP1998364 Art A3 11. Februar 2009

Anmelder: NEC Corporation, Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1998364
Aktenzeichen: EP08075745
Anmeldetag: 8. Juli 2000
Veröffentlichung: 11. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20B23K26/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Corporation
Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

18.204 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

846 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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