Elektrostatische Anziehvorrichtung für ein Glassubstrat und Verfahren zum Anziehen und Loslassen eines Solchen Glassubstrats

EP1998365 Art B1 6. September 2017

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1998365
Aktenzeichen: EP06843341
Anmeldetag: 26. Dezember 2006
Veröffentlichung: 6. September 2017
Erteilung: 6. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683B65G49/06H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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