Verfahren zur Reinigung einer Strukturierungsvorrichtung, Verfahren zur Anbringung eines Schichtsystems auf einem Substrat, System zur Reinigung einer Strukturierungsvorrichtung und Beschichtungssystem zur Anbringung eines Schichtsystems auf einem Substrat
EP1998389
Art B1
31. Januar 2018
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1998389
- Aktenzeichen
- EP07109357
- Anmeldetag
- 31. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 31. Januar 2018
- Erteilung
- 31. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L51/52H01L51/56C23C14/04C23C14/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Neuburger, Benedikt Maria
München, Deutschland
15
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
-
Lermer, Christoph
LermerRaible Patent- u. Rechtsanwalts PartGmbB · München