Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP2000840
Art A9
18. März 2009
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2000840
- Aktenzeichen
- EP07737991
- Anmeldetag
- 8. März 2007
- Veröffentlichung
- 18. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/06G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
12.048
Patente gesamt
7
Patentanwälte
2
Standorte