Lichtempfindliche Verbindung und Fotoresistzusammensetzung damit

EP2000853 Art A3 3. Juni 2009

Anmelder: DONGJIN SEMICHEM CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2000853
Aktenzeichen
EP08010368
Anmeldetag
6. Juni 2008
Veröffentlichung
3. Juni 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C07C69/42C07C69/76G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DONGJIN SEMICHEM CO., LTD
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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