Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Anwendung bei einem Teilchenstrahlgerät

EP2001038 Art B9 26. Oktober 2016

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2001038
Aktenzeichen
EP08157672
Anmeldetag
5. Juni 2008
Veröffentlichung
26. Oktober 2016
Erteilung
26. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20H01J37/26H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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