Mit Atmosphärischem Druckmikrowellenplasma Behandelte Poröse Membranen

EP2001666 Art B1 23. August 2017

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2001666
Aktenzeichen
EP07754320
Anmeldetag
28. März 2007
Veröffentlichung
23. August 2017
Erteilung
23. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B01D39/00B01D39/14H05H1/32B01D29/46B01D71/32B01D71/36
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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