Hochleistungs-Hf-Miniatursensor zur Verwendung für Plasmaverarbeitungswerkzeuge in der Mikroelektronik
EP2002270
Art B1
20. August 2014
Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2002270
- Aktenzeichen
- EP07753542
- Anmeldetag
- 20. März 2007
- Veröffentlichung
- 20. August 2014
- Erteilung
- 20. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R27/26G01R31/02H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inficon, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
283 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Heyer, Volker
München, Deutschland
272
Patente gesamt
26
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hauck Patent- und Rechtsanwälte
Hauck Patent- und Rechtsanwälte · Hamburg