Organisches Barc-Ätzverfahren für die Herstellung von Integrierten Dual-Damscene-Schaltungen mit Niedriger Dielektrizitätskonstante
EP2002467
Art A2
17. Dezember 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2002467
- Aktenzeichen
- EP07753620
- Anmeldetag
- 20. März 2007
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank