Eine ein Fluor-Haltiges Polymer Umfassende Strahlungsempfindliche Zusammensetzung

EP2003148 Art B1 19. Juli 2017

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2003148
Aktenzeichen: EP07739535
Anmeldetag: 23. März 2007
Veröffentlichung: 19. Juli 2017
Erteilung: 19. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C08F20/22G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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