Abtastbelichtungsvorrichtung, Mikrobauelement-Herstellungsverfahren, Maske, Optische Projektionsvorrichtung und Maskenherstellungsverfahren
EP2003507
Art A1
17. Dezember 2008
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2003507
- Aktenzeichen
- EP07738862
- Anmeldetag
- 16. März 2007
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B13/14G02B13/24G02B17/08G03F1/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
12.048
Patente gesamt
7
Patentanwälte
2
Standorte