Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung und Überwachung einer Position eines Halteelements
EP2003526
Art A1
17. Dezember 2008
Anmelder: Carl Zeiss NTS Limited, Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2003526
- Aktenzeichen
- EP07011573
- Anmeldetag
- 13. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/404H01J37/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss NTS Limited
Carl Zeiss SMT Limited - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
91
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte