Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2003679 Art B1 16. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2003679
Aktenzeichen: EP07714729
Anmeldetag: 21. Februar 2007
Veröffentlichung: 16. November 2016
Erteilung: 16. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F9/02H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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