Messeinrichtung und Verfahren, Strukturbildungseinrichtung und Verfahren, und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2003681 Art B1 12. November 2014

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2003681
Aktenzeichen: EP07737560
Anmeldetag: 21. Februar 2007
Veröffentlichung: 12. November 2014
Erteilung: 12. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G01D5/38G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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