Mikromechanische Gehäusung mit mindestens Zwei Kavitäten mit Unterschiedlichem Innendruck Und/oder Unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung

EP2004542 Art B1 11. Juni 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2004542
Aktenzeichen
EP07727811
Anmeldetag
4. April 2007
Veröffentlichung
11. Juni 2014
Erteilung
11. Juni 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00B81B7/00B81B7/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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