Optik zur Erzeugung von Strukturierten Strahlen Geladener Teilchen mit Hoher Stromdichte
EP2005460
Art A1
24. Dezember 2008
Anmelder: Multibeam Systems, Inc., Tokyo Electron Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2005460
- Aktenzeichen
- EP06758214
- Anmeldetag
- 27. März 2006
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Multibeam Systems, Inc.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Freeman, Avi
Harrow, Großbritannien
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