Optik zur Erzeugung von Strukturierten Strahlen Geladener Teilchen mit Hoher Stromdichte

EP2005460 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: Multibeam Systems, Inc., Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2005460
Aktenzeichen
EP06758214
Anmeldetag
27. März 2006
Veröffentlichung
24. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Multibeam Systems, Inc.
Tokyo Electron Limited
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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