Verfahren zur Herstellung Mehrschichtiger Strukturen mit Gesteuerten Eigenschaften

EP2005465 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), UNIVERSITE JOSEPH FOURIER - Grenoble 1, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2005465
Aktenzeichen
EP07727474
Anmeldetag
29. März 2007
Veröffentlichung
24. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
UNIVERSITE JOSEPH FOURIER - Grenoble 1
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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