Verfahren zur Herstellung einer Struktur mit mindestens einer Dünnen Schicht in einem Amorphen Material, Erhalten durch Epitaxie auf einem Trägersubstrat

EP2005466 Art B1 17. Juli 2013

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2005466
Aktenzeichen
EP07726870
Anmeldetag
13. März 2007
Veröffentlichung
17. Juli 2013
Erteilung
17. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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