Wartungssystem, Substratverarbeitungsvorrichtung, Kombination von einer ferngesteuerten Betriebseinheit und einem Sensor, und Kommunikationsverfahren

EP2006741 Art B1 13. Januar 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2006741
Aktenzeichen: EP08166438
Anmeldetag: 8. August 2003
Veröffentlichung: 13. Januar 2016
Erteilung: 13. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G07C9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Optik & Fototechnik

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