Wässrige Dispersion zum Chemisch-Mechanischen Polieren, Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren und Kit zum Herstellen einer Wässrigen Dispersion zum Chemisch-Mechanischen Polieren

EP2006891 Art A1 24. Dezember 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2006891
Aktenzeichen: EP07739939
Anmeldetag: 27. März 2007
Veröffentlichung: 24. Dezember 2008
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/00C09G1/02C09K3/14H01L21/321H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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