Vakuum-Pumpstand

EP2007918 Art B1 9. Juli 2014

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2007918
Aktenzeichen
EP07733597
Anmeldetag
30. März 2007
Veröffentlichung
9. Juli 2014
Erteilung
9. Juli 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/56F04B41/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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