Gruppe-Iii-V-Nitrid-Schicht und Herstellungsverfahren dafür

EP2009148 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: KANAGAWA ACADEMY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY, The University of Tokyo, Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2009148
Aktenzeichen
EP07739020
Anmeldetag
19. März 2007
Veröffentlichung
31. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/38C03B23/08H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
KANAGAWA ACADEMY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
The University of Tokyo
Mitsubishi Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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