Pneumatischer Sensor mit erhöhter Druckempfindlichkeit durch Düsenoberflächenrauhigkeit

EP2009391 Art B1 20. April 2011

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2009391
Aktenzeichen
EP08159163
Anmeldetag
27. Juni 2008
Veröffentlichung
20. April 2011
Erteilung
20. April 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01B13/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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