Verfahren und Vorrichtung für die Steuerung einer Vielzahl von Aktuatoren einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
EP2009501
Art B1
27. Februar 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2009501
- Aktenzeichen
- EP08159027
- Anmeldetag
- 25. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2013
- Erteilung
- 27. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
München, Deutschland
LangPatent Anwaltskanzlei wird von Dr.-Ing. Christian Lang geleitet und sitzt im Münchner Norden. Die international ausgerichtete Kanzlei begleitet Patent-, Marken- und Designangelegenheiten von der Anmeldung bis zur gerichtlichen Durchsetzung, mit einem Team aus Wissenschaftlern, Ingenieuren und fremdsprachigen Fachkräften.
2.434
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte